型號

JL-VM60

等離子源系統

頻  率

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

功  率

0~1000W可調

0-3000W可調

          選   配

真空系統

真空腔體

材質(zhì)

316L不銹鋼、航空鋁（選配）

腔體內部尺寸(MM)

400*400*400（寬高深)

腔體容積

60L

極板

5層極板5層托盤(pán)可拆卸式,層間距30mm，水平式，活動(dòng)可調節

 可放最大產(chǎn)品尺寸

  320mm*280mm

密封性

軍工級焊接密封

泵

泵組

油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）20?/H

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1×105~1×10-1Pa

質(zhì)量流量計

＜±1% FS  質(zhì)量流量控制（MFC）系統

氣路控制

2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調

真空度基礎壓力設定范圍

10Pa-50Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM（可調）

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等（可選）

控制系統

1、PLC 自動(dòng)控制；

2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面；

3、配方程序為 0~99；

4、多級權限操作；

5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監測工藝參數狀態(tài)及錯誤信息；

6、存儲工藝數據及錯誤信息；

7、配備聲光報警裝置,報警信息提示及追溯；

  8、保護功能：工作氣體耗盡報警、壓縮空氣力低于設定值報警、反應倉泄露率過(guò)大報警、控制面板處設急停按鈕等

  9、免靜電清洗等多種清洗模式

10、圖形化界面檢測處理參數；

11、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；

12、維護提示緊急停止按鈕；

13、門(mén)感應器和真空互鎖；

14、顯示功能：工藝參數顯示；運行時(shí)間顯示；工藝過(guò)程實(shí)時(shí)監視并顯示運行狀態(tài)，如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態(tài)，如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態(tài)，如泵的、 射頻電源質(zhì)量流量等；故障報警，提示項目

15、機器運行信號指示；

16、機器運行結束提示；

17、設備無(wú)WIFI，無(wú)藍牙，無(wú)讀卡器等相關(guān)裝置

外觀(guān)參數

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(寬高深）

重  量

320KG

設施配置

電  力

五線(xiàn)線(xiàn)三相制AC220V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設計規范》等國標標準相關(guān)規定

整機功率

2KW

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA 0.5MPa

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.