采用金徠等離子體技對ITO陽(yáng)極進(jìn)行表面改性,可有效優(yōu)化其表面化學(xué)組成,大大降低方塊電阻,從而有效提高能量轉換效率,改善器件的光伏性能。
太陽(yáng)能聚能鏡在生產(chǎn)過(guò)程中應用到等離子清洗工藝的有:
1、玻璃基板等離子體清洗:
使用金徠等離子體技術(shù),對材料表面進(jìn)行轟擊,可有效去除表面有機污染物、氧化污染物、微信顆粒,使工件表面親水性大大提高。清洗后的水滴夾角小于5度,為下道工序的進(jìn)行奠定良好基礎。
2、陽(yáng)極表面等離子體改性:
采用金徠等離子體技對ITO陽(yáng)極進(jìn)行表面改性,可有效優(yōu)化其表面化學(xué)組成,大大降低方塊電阻,從而有效提高能量轉換效率,改善器件的光伏性能。
3、涂保護膜前等離子體清洗處理:
硅片表面非常光亮,會(huì )反射掉大量的太陽(yáng)光。因此,在其上沉積一層反射系數非常小的氮化硅保護膜是非常必要的。通過(guò)采用金徠等離子體技,可活化硅片表面,大大提高其表面附著(zhù)力。