深圳市金徠技術(shù)有限公司
ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.
對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進(jìn)行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。
型 號 | JL-VM100 | ||
等離子源系統 | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 1000W可調 | ||
真空系統 | 真空腔體 | 材質(zhì) | 航空鋁 |
腔體內部尺寸 | 500*400*500mm（寬*深*高） | ||
托盤(pán)有效尺寸 | 420*280mm | ||
物料托盤(pán)層數 | 8層托盤(pán)、可拆卸式,層間距30mm | ||
腔體容積 | 100L | ||
密封性 | 軍工級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 1*105~1*10-1Pa | ||
質(zhì)量流量計 | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 標配2路（可定制） | ||
真空度 | 5Pa-30pa | ||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調） | |
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等（可選） | ||
外觀(guān)參數 | 外形尺寸 | 1000*900*1750mm（寬*深*高） | |
重 量 | 550kg | ||
設施配置 | 電 力 | 五線(xiàn)線(xiàn)三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設計規范》等國標標準相關(guān)規定 | |
1、小技巧、操作簡(jiǎn)單、易維護。
2、引進(jìn)德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
3、進(jìn)口針閥精密流量控制計，精度高。
4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
6、可以根據客戶(hù)需求定制。
1、小技巧、操作簡(jiǎn)單、易維護。
2、引進(jìn)德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
3、進(jìn)口針閥精密流量控制計，精度高。
4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
6、可以根據客戶(hù)需求定制。
